化学浸蚀是利用化学试剂的溶液，借助于化学或电化学作用显示金属的组织。

纯金属及单相合金的浸蚀是一个化学溶解的过程，磨面表层的原子被溶入浸蚀剂，在溶解过程中由于晶粒与晶粒间溶解度的不同，组织就被显示出来。

两相合金的浸蚀与单相合金的浸蚀原理不同，它主要是电化学腐蚀过程。合金中的两个相具有不同的电位，当磨面浸入浸蚀剂中便形成许多微小的局部电池，具有较高负电位的一相成为局部电池的阳极，被很快溶入浸蚀剂，因而该相逐渐呈现凹沟。具有较高正电位的另一相成为阴极，在正常电化学作用下不受浸蚀，保持原有的光滑平面。

多相合金的浸蚀也是一个电化学溶解过程。一般电化学作用对多相合金的浸蚀，往往是负电位较高的各相都产生溶解作用，只有正电位较高的一相未被浸蚀，因此一般化学浸蚀不能鉴别多相组织，所以要用多种浸蚀剂进行浸蚀。

磨面浸蚀前须冲洗干净，去除污垢，浸蚀的方法有浸入法和揩擦法。

浸入法是将试样用夹子夹住，浸入盛有浸蚀剂的器皿中，使磨面朝上，并使试样全部浸入。在浸蚀过程中应摇动浸蚀剂，使磨面受蚀更均匀。整个浸蚀过程如下：光亮的磨面经浸蚀逐渐失去光泽，变成银白色或淡黄色，最后成为灰黑色。先宜浸蚀较浅，在显微镜上观察浸蚀的程度，如果组织尚未显露，可不经抛光再进行浸蚀。

揩擦法是将试样磨面朝上平放在工作台上，以蘸有浸蚀剂的棉花在磨面上轻轻揩擦。此法浸蚀后磨面易产生浸蚀不均匀，它适合大型工件和大试样的金相检查。经浸蚀适度的试样应迅速用清水彻底冲洗，然后浸入酒精中或用酒精喷射试样磨面，再用热风吹干。喷酒精的目的是使磨面加快干燥，吹风时试样应倾斜，防止表面积水而成水渍。浸蚀后的试样磨面应保持清洁，保护磨面不受损坏。浸蚀后的试样如果不要求及时观察或需保存，应立即放入干燥器内。

电解浸蚀的工作原理基本上与电解抛光相同。在电解抛光开始试样产生“浸蚀”现象，这一阶段正好是电解浸蚀的工作范围。由于各相间与晶粒间的析出电位不一致，在微弱电流的作用下各相的浸蚀深浅不同，因而能显示各相的组织。

大型机件或构件，如大型齿轮、轴类、管道进行组织无损检验时，可直接在工件上选定检验点，进行磨光→抛光→浸蚀等过程。

选择粒度适宜的小砂轮，插入电动手磨机上并固紧。开启手磨机将工件上欲检测部位磨平；然后在手磨机磨头上贴上砂纸贴片，在被检测部位细磨，并由粗到细更换几种不同粒度的贴片，直到细磨完成；最后在磨头上贴上抛光布贴片，并加研磨膏抛光直至被检测部位光亮为止。观察组织时，用棉花蘸少许化学浸蚀剂在被检测部位轻擦拭，浸蚀完毕用酒精冲淋并用吹风机吹干。

观察组织时可用便携式金相显微镜，对于无法用显微镜观察的部位，制样后采用覆膜的方法将需观察处用薄膜复制出来，带到实验室观察。如需摄影再在显微镜上装上摄影仪或摄影照相机。