真空热处理是在负压下保持无氧化状态的热处理方法，真空热处理的作用如下。

     A 真空的保护作用：真空中，气氛的化学活性很低，因此在气相与固相界面上发生的反应，如氧化、还原、脱碳等都不会进行到有影响的程度。同时可使气体体积迅速增大，导致金属放出溶解的气体或使金属氧化物发生分解，上诉两点因氧的分压力很低，氧化作用就被抑制。为此，要想减少炉内的氧化作用就要尽量减少渗透量。采用真空热处理可得到廉价的，无氧化的中性保护气氛，可使钢丝不脱碳，表面光亮。

     B 消除表面附着物的作用：金属氧化物在普通的高温加热时其反应的化学方程式为：2MO=2M+2O(2O→O2),当真空度足够高时，氧的分压将降到分解压力以下，反应向右进行，所形成的氧气不断地被真空泵抽掉，从而氧化物被去除，同时粘附在钢丝表面的润滑剂的主要成分是C，H，O的化合物，其分解压力较高，在真空中加热时很容易分解为H2，H2O（蒸汽）以及CO气体，立即被真空泵抽走，从而得到了光亮的表面。
     C 脱气作用：在真空中，金属的气体首先向表面扩散，然后从表面放出，被真空泵抽走，H2较易除去，其次是CO、N2、O2。
     D 蒸发作用：金属在高真空状态下，会按其蒸气压相应的比例发生蒸发，金属蒸气会凝结在金属的低温部位，或污染其他金属表面，因此，单纯地认为真空度越高获得的光洁度越高的想法是不正确的。钢丝热处理一般是低真空，加热温度也不太高，故蒸发作用不大。

鉴于真空退火有上述优点，因此真空退火在国外广泛地用于高工钢丝、轴承钢丝、冷丁钢丝和制针钢丝等产品的退火。